一、污染源控制
無塵室潔凈度維持和控制，除了設備之外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配。無塵室內微污染來源，經測試分析結果，作業人員占約80%，通風凈化占15%，房屋建筑占5%。潔凈室污染主要原因是人的因素。無塵室微污染控制，應遵守以下基本原則：
     1.外部侵入：　無塵室適當正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程不漏氣，人員設備、原材料進入無塵室前先做好清潔擦拭等，空氣過濾器適當的管理和設置。
     2.室內產塵：隔間板、地板等無塵室材料的適當選用、生產設備產塵控制、潔凈衣的管理、使用無塵室專用器等。
     3.室內布局：墻壁體應光滑無死角、無塵室需定期保養和清掃、生產設備四周應留有空間。
     4.塵埃排除：換氣次數應足夠，適當的空間布置以及污染源接排氣和空調的氣流速度須適當。

二、無塵室運轉管理
1.作業人員管理
  （1）進入無塵室人員以維持最小限度原則（愈少愈好），并依無塵室進出標準流程進出無塵室。出則不須經風淋室脫塵處理。對作業人員必須經常講解無塵室管理規范，加以教育與訓練，經考試合格者方能進入無塵室工作。
  （2）無塵室工作人員須注意以下事項：a.不可在作業區域氣流之上方放置物品；b.不必要動作盡量避免以防止亂流產塵；c.與作業無關的談話盡量避免；d.為控制產塵量，人員走動及作業要靜靜地進行；e.作業要在操作臺面上進行；f.工具等須放入專用柜中，并固定放在一定的場所。
  （3）以下情況不宜進入無塵室：a.剛做激烈運動流汗者；b.吸煙或吃東西后，尚未經過半小時以上者；c.因日曬、濕診而皮膚有問題者；d.化學纖維或有機溶劑等化學藥品有過敏性體質者；e.容易出受汗者；f.化妝或涂口紅者;g.因哮喘、咳嗽或噴嚏者及不能安靜工作者。
  （4）以下物品不能進入無塵室：a.沒有經過清潔等各種物品；b.紙箱及未經處理的筆記用紙等；c.鉛筆、橡皮擦、墨水等；　d.香煙、化妝品、衛生紙、飲食品等；e.打火機、寶石、裝飾品、錢包、鑰匙、手帕、小日記手冊等個人物品。

2.原物料、設備進出管理
   原物料及設備進出無塵室，工作人員在室內清潔設備或物料時須穿著潔凈衣服，所使用擦拭紙為無塵紙或無塵布，清潔劑可以使用純水，搬運設備時為免破壞地板表面，須事先在地板上做保護。

3.無塵室內用品管理
   潔凈衣鞋帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在無塵室內進行，并以純水配合清潔溶劑。洗滌周期視潔凈度等級而定，在高潔凈區（CLASS1）為2~3天，其它區域則為5-7天，洗滌完畢干燥后應立即密封。潔凈衣之置放場所應為無塵室，并存放柜內，正使用的可掛在衣架上，方便取用。
   桌椅一般以不銹鋼材質為佳，表面須加工處理。工作桌最好有打洞。椅子盡量采用沒有背及腳踏板，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板為原則，桌及椅子腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。
   無塵室應當使用專用吸塵器，由于吸塵器吸取無塵室內塵埃的時候會有排氣產生，如果未經處理，將嚴重影響無塵室潔凈度和氣流，因而吸塵器在排氣口應配有高效過濾器，以除去塵埃。

三、無塵室各系統維護保養管理
   1.生產設備選擇、布置與保養：　a.要選用產塵較少的生產設備，以容易清潔為原則；b.生產用水、氣體、藥品等應配備過濾裝置；c.真空泵等應設置在無塵室外面或回風區，并加裝排氣；d.設置給水管線、氣體管線和電氣系統時，構造考慮到容易清潔，不易積累污染物；e.生產及相關設備應定期清掃，以避免微塵之堆積；f.應加強注意室內的溫濕度控制，避免因濕度之不當造成結露生銹；g.當設備維維修時盡量于清潔室外進行，或加以隔離柵隔離；h.對于施工、維修廠商，應告知進出無塵室各項規定，并安排專人監工；i.應有無塵室專用工具組，但不得帶出無塵室外使用。
    2.生產設備防塵措施：a.打磨、切削時需將發塵部分掩蓋；b.易產生塵埃設備，盡量布置于車間邊角地點；c.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥設置。
    3.建筑物維護管理：a.建筑物內定期檢查清潔；b.地板清掃，每天兩次；c.隔間墻及天花板檢查清潔每周一次；d.窗戶及門保養每周一次。
    4.防塵空調設備維護管理：a.溫、濕度及塵埃濃度管理；b.過濾網管理：定期檢查及更換；c.空氣調節器管理：定期檢查隔板接縫及內部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現象；d.送風機管理：定期檢查送風機運轉狀況；e.風管及出風口管理：檢查風管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等；f.室內壓力管理：連續監視室內壓力記錄，以維持正壓為基準；g.冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔管理：定期檢查保養及記錄運轉狀況及水質變化分析，以調整加藥量等；h.無塵室開機要點管理：啟動后須穩定10分鐘以上時開始作業。

各種過濾網建議更換周期

送風機之各項檢查及周期